产品简介
NE-PE13F是一款高性价比的干法去胶设备，可用于尺寸8英寸及以下样品表面的活化和清洁处理。91香蕉视频IOS下载去胶的工作原理是将覆有光刻胶的外延片/晶圆放置于真空反应系统中，通入少量氧气，利用电压放电，把氧气（O2）电离成激发态的氧原子（O），然后氧原子和抗蚀剂中的C和H快速反应，生成CO、CO2和H2O等挥发性气体，用真空泵抽走，以达到去胶的目的。91香蕉视频IOS下载去胶不仅操作简单、去胶效率高、去胶后晶圆表面干净光洁而且无划痕、成本低、环保，有利于确保产品的质量。
产品参数
| 型号 | NE-PE13F |
| 功率 | 0-300W可调 |
| 频率 | 13.56 MHz自动阻抗匹配 |
| 腔体尺寸 | 240(L)*280(D)*200(H)mm |
| 腔体有效处理面积 | 230（L）×205（D）mm |
| 腔体容积 | 13.5L |
| 处理产品尺寸 | 可处理8寸晶圆，向下兼容6寸，4寸晶圆 |
| 腔体材质 | 316 镜面不锈钢 |
| 极限真空度 | 1PA |
| 气路数量 | 3路耐腐蚀，支持氧气，氩气，氮气，氢气等 |
| 外形尺寸 | 600mm(L)×550mm(W) ×580 mm(H) |
| 电源供应 | 220V |
产品应用
硅片清洗
晶圆去胶
有机物清洗
亲水性提升
表面微刻蚀
表面活化改性
应用案例
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